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靶材在半導體芯片中的作用,靶材在半導體芯片中的作用是什么

濺射靶材的主要應用

濺射靶材的主要應用

濺射靶材主要應用于電子及信息產(chǎn)業(yè),如集成電路、信息存儲、液晶顯示屏、激光存儲器、電子控制器件等;亦可應用于玻璃鍍膜領(lǐng)域;還可以應用于耐磨材料、高溫耐蝕、高檔裝飾用品等行業(yè)。

分類 根據(jù)形狀可分為長靶,方靶,圓靶,異型靶 根據(jù)成份可分為金屬靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材 根據(jù)應用不同又分為半導體關(guān)聯(lián)陶瓷靶材、記錄介質(zhì)陶瓷靶材、顯示陶瓷靶材、超導陶瓷靶材和巨磁電阻陶瓷靶材等 根據(jù)應用領(lǐng)域分為微電子靶材、磁記錄靶材、光碟靶材、貴金屬靶材、薄膜電阻靶材、導電膜靶材、表面改性靶材、光罩層靶材、裝飾層靶材、電極靶材、封裝靶材、其他靶材 磁控濺射原理:在被濺射的靶極(陰極)與陽極之間加一個正交磁場和電場,在高真空室中充入所需要的惰性氣體(通常為Ar氣),永久磁鐵在靶材料表面形成250~350高斯的磁場,同高壓電場組成正交電磁場。在電場的作用下,Ar氣電離成正離子和電子,靶上加有一定的負高壓,從靶極發(fā)出的電子受磁場的作用與工作氣體的電離幾率增大,在陰極附近形成高密度的等離子體,Ar離子在洛侖茲力的作用下加速飛向靶面,以很高的速度轟擊靶面,使靶上被濺射出來的原子遵循動量轉(zhuǎn)換原理以較高的動能脫離靶面飛向基片淀積成膜。 磁控濺射一般分為二種:支流濺射和射頻濺射,其中支流濺射設(shè)備原理簡單,在濺射金屬時,其速率也快。而射頻濺射的使用范圍更為廣泛,除可濺射導電材料外,也可濺射非導電的材料,同時還司進行反應濺射制備氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。若射頻的頻率提高后就成為微波等離子體濺射,常用的有電子回旋共振(ECR)型微波等離子體濺射。

磁控濺射鍍膜靶材:

金屬濺射鍍膜靶材,合金濺射鍍膜靶材,陶瓷濺射鍍膜靶材,硼化物陶瓷濺射靶材,碳化物陶瓷濺射靶材,氟化物陶瓷濺射靶材 ,氮化物陶瓷濺射靶材 ,氧化物陶瓷靶材,硒化物陶瓷濺射靶材 ,硅化物陶瓷濺射靶材 ,硫化物陶瓷濺射靶材 ,碲化物陶瓷濺射靶材 ,其他陶瓷靶材,摻鉻一氧化硅陶瓷靶材(Cr-SiO),磷化銦靶材(InP),砷化鉛靶材(PbAs),砷化銦靶材(InAs)。

高純高密度濺射靶材有:

濺射靶材(純度:99.9%-99.999%)

1. 金屬靶材:

鎳靶、Ni、鈦靶、Ti、鋅靶、Zn、鉻靶、Cr、鎂靶、Mg、鈮靶、Nb、錫靶、Sn、鋁靶、Al、銦靶、In、鐵靶、Fe、鋯鋁靶、ZrAl、鈦鋁靶、TiAl、鋯靶、Zr、鋁硅靶、AlSi、硅靶、Si、銅靶Cu、鉭靶T、a、鍺靶、Ge、銀靶、Ag、鈷靶、Co、金靶、Au、釓靶、Gd、鑭靶、La、釔靶、Y、鈰靶、Ce、鎢靶、w、不銹鋼靶、鎳鉻靶、NiCr、鉿靶、Hf、鉬靶、Mo、鐵鎳靶、FeNi、鎢靶、W等金屬濺射靶材。

2. 陶瓷靶材

ITO靶、AZO靶、氧化鎂靶、氧化鐵靶、氮化硅靶、碳化硅靶、氮化鈦靶、氧化鉻靶、氧化鋅靶、硫化鋅靶、二氧化硅靶、一氧化硅靶、氧化鈰靶、二氧化鋯靶、五氧化二鈮靶、二氧化鈦靶、二氧化鋯靶,、二氧化鉿靶,二硼化鈦靶,二硼化鋯靶,三氧化鎢靶,三氧化二鋁靶五氧化二鉭,五氧化二鈮靶、氟化鎂靶、氟化釔靶、硒化鋅靶、氮化鋁靶,氮化硅靶,氮化硼靶,氮化鈦靶,碳化硅靶,鈮酸鋰靶、鈦酸鐠靶、鈦酸鋇靶、鈦酸鑭靶、氧化鎳靶等陶瓷濺射靶材。

3.合金靶材

鎳鉻合金靶、鎳釩合金靶、鋁硅合金靶、鎳銅合金靶、鈦鋁合金、鎳釩合金靶、硼鐵合金靶、硅鐵合金靶等高純度合金濺射靶材。

鈦靶材的功能和特點誰知道 告訴下謝謝!!!!

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北京泛德辰科技有限公司是北京中關(guān)村科技園區(qū)專門從事新材料研發(fā)、生產(chǎn)和全球銷售的高科技綜合性公司,是經(jīng)北京市科委認定的高新技術(shù)企業(yè)。由資深專家領(lǐng)導的高素質(zhì)的研發(fā)團隊、富有跨國公司管理經(jīng)驗的管理人員領(lǐng)導的營銷團隊和高級財務經(jīng)理團隊組成的一流專業(yè)人才是公司發(fā)展的堅強后盾。我公司通過熱(冷)等靜壓方法、金屬冶煉、粉末冶金法專業(yè)生產(chǎn)各種磁控濺射靶材:鉻管靶、鋁管靶、銅管靶、單晶硅基片,氧化硅基片,氧化鋁基片等。

主要根據(jù)客戶的具體要求加工各種規(guī)格,各種成分的靶材,我們的產(chǎn)品質(zhì)量更高,價格更低,交貨時間短,與國內(nèi)多家鍍膜廠,鍍膜機生產(chǎn)廠,科研機構(gòu),國內(nèi)外大學保持良好的業(yè)務往來,目前我公司正以優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品、系統(tǒng)的服務和科學的管理為客戶提供共同成長、發(fā)展的空間。歡迎各界人士前來洽談業(yè)務,請告知我們您的具體需求,我們會給您我們同行業(yè)內(nèi)更優(yōu)惠的價格和更好的服務!

ito靶材是什么?

ito靶材是什么?

ito靶材屬于陶瓷靶材的一種,近些年來人們對于電腦、電視、手機顯示屏的追求越發(fā)明顯,由此也帶動了ito靶材的市場需求。但目前ito技術(shù)發(fā)展還不夠先進,發(fā)展空間巨大。

ITO材料是一種n型半導體材料,該種材料包括ITO粉末、靶材、導電漿料及ITO透明導電薄膜。其主要應用分為平板顯示器(FPD)產(chǎn)業(yè),如液晶顯示器(LCD)、薄膜晶體管顯示器(TFT-LCD)、電激發(fā)光顯示器(EL)、場發(fā)射顯示器(FED)、電致有機發(fā)光平面顯示器(OELD)等離子顯示器(PDP)等。

擴展資料:

國內(nèi)對ITO靶材的需求量大幅增長,國內(nèi)生產(chǎn)的ITO靶材密度低,無法滿足高端平板顯示器行業(yè)對于靶材質(zhì)量的要求.僅僅部分用于低端液晶產(chǎn)品中。目前世界上只有日本、美國、德國等少數(shù)發(fā)達國家和地區(qū)能生產(chǎn)ITO靶材,而我國平板顯示器產(chǎn)業(yè)所需求的ITO靶材的98%依賴于進口,因此,研制開發(fā)ITO靶材生產(chǎn)技術(shù)是現(xiàn)有In生產(chǎn)企業(yè)開發(fā)In深加工技術(shù)的首選目標。

國外ITO靶材的生產(chǎn)工藝和技術(shù)設(shè)備已較為成熟和穩(wěn)定。其主要制備方法有熱等靜壓法、熱壓法和燒結(jié)法。

靶材是什么

靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料,用于高能激光武器中,不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時,會產(chǎn)生不同的殺傷破壞效應。

鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統(tǒng)在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。

材質(zhì)分類:

⒈金屬靶材

鎳靶、Ni、鈦靶、Ti、鋅靶、Zn、鉻靶、Cr、鎂靶、Mg、鈮靶、Nb、錫靶、Sn、鋁靶、Al、銦靶、In、鐵靶、Fe、鋯鋁靶、ZrAl、鈦鋁靶、TiAl、鋯靶、Zr、鋁硅靶、AlSi、硅靶、Si、銅靶Cu、鉭靶T、a、鍺靶、Ge、銀靶、Ag、鈷靶、Co、金靶、Au、釓靶、Gd、鑭靶、La、釔靶、Y、鈰靶、Ce、鎢靶、w、不銹鋼靶、鎳鉻靶、NiCr、鉿靶、Hf、鉬靶、Mo、鐵鎳靶、FeNi、鎢靶、W等。

⒉陶瓷靶材

ITO靶、氧化鎂靶、氧化鐵靶、氮化硅靶、碳化硅靶、氮化鈦靶、氧化鉻靶、氧化鋅靶、硫化鋅靶、二氧化硅靶、一氧化硅靶、氧化鈰靶、二氧化鋯靶、五氧化二鈮靶、二氧化鈦靶、二氧化鋯靶,、二氧化鉿靶,二硼化鈦靶,二硼化鋯靶,三氧化鎢靶,三氧化二鋁靶五氧化二鉭,五氧化二鈮靶、氟化鎂靶、氟化釔靶、硒化鋅靶、氮化鋁靶,氮化硅靶,氮化硼靶,氮化鈦靶,碳化硅靶,鈮酸鋰靶、鈦酸鐠靶、鈦酸鋇靶、鈦酸鑭靶、氧化鎳靶、濺射靶材等。

⒊合金靶材

鐵鈷靶FeCo、鋁硅靶AlSi、鈦硅靶TiSi、鉻硅靶CrSi、鋅鋁靶ZnAl、鈦鋅靶材TiZn、鈦鋁靶TiAl、鈦鋯靶TiZr、鈦硅靶TiSi、 鈦鎳靶TiNi、鎳鉻靶NiCr、鎳鋁靶NiAl、鎳釩靶NiV、鎳鐵靶NiFe等。

百度百科http://baike.baidu.com/view/601854.htm

靶材的運用原理

靶材運用:荷能粒子(例如氬離子)轟擊固體表面,引起表面各種粒子,如原子、分子或團束從該物體表面逸出的現(xiàn)象稱“濺射”.在磁控濺射鍍膜中,通常是應用氬氣電離產(chǎn)生的正離子轟擊固體(靶),濺出的中性原子沉積到基片(工件)上,形成膜層,磁控濺射鍍膜具有“低溫”和“快速”兩大特點. QQ:10213735

靶材的作用和用途?

靶材就是目標材料.用于高能激光武器中,不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時,會產(chǎn)生不同的殺傷破壞效應.用于物理鍍膜中的濺鍍,主要有金屬靶材和陶瓷靶材.不知道你想問的是哪個領(lǐng)域使用的.

什么叫靶材?電容觸摸屏的靶材主要是什么?

電容觸摸屏用的鍍膜基板是用磁控濺射工藝制造的. 在磁控濺射制程中用到的鍍膜材料稱為靶材. 用作電容觸摸屏的靶材一般有:InSn,Si,Ag,Al,Mo等

靶材的介紹

鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統(tǒng)在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源.簡單說的話,靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料,用于高能激光武器中,不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時,會產(chǎn)生不同的殺傷破壞效應.例如:蒸發(fā)磁控濺射鍍膜是加熱蒸發(fā)鍍膜、鋁膜等.更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等).

靶材參加什么樣的展會好推廣自己的產(chǎn)品呢?

【靶材的定義】

靶材的定義:

靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料,用于高能激光武器中,不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時,會產(chǎn)生不同的殺傷破壞效應。中國最專業(yè)的展會平臺——808街。例如:蒸發(fā)磁控濺射鍍膜是加熱蒸發(fā)鍍膜…鋁膜等。更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。

【靶材的種類】

靶材的種類:

1: 金屬靶材

2:陶瓷靶材

3:合金靶材

【磁控濺射靶材種類】:

金屬濺射鍍膜靶材,合金濺射鍍膜靶材,陶瓷濺射鍍膜靶材,硼化物陶瓷濺射靶材,碳化物陶瓷濺射靶材,氟化物陶瓷濺射靶材 ,氮化物陶瓷濺射靶材 ,氧化物陶瓷靶材,硒化物陶瓷濺射靶材 。

硅化物陶瓷濺射靶材 ,硫化物陶瓷濺射靶材 ,碲化物陶瓷濺射靶材 ,其他陶瓷靶材,摻鉻一氧化硅陶瓷靶材(Cr-SiO),磷化銦靶材(InP),砷化鉛靶材(PbAs),砷化銦靶材(InAs)。

【靶材的發(fā)展】

各種類型 的濺射薄膜材料 在半導體集成 電路 (VLSI ) 、光碟、平面顯示器以及工件的表面涂層等 方面都得到了廣泛的應用。20世紀 90年代 以來,濺 射靶材及濺射技術(shù)的同步發(fā)展,極大地滿足了各種新 型電子元器件發(fā)展的需求。

【靶材的制作工藝】

磁控濺射靶材

1:1)磁控濺射原理:在被濺射的靶極(陰極)與陽極之間加一個正交磁場和電場,在高真空室中充入所需要的惰性氣體(通常為Ar氣),永久磁鐵在靶材料表面形成250~350高斯的磁場,同高壓電場組成正交電磁場。

在電場的作用下,Ar氣電離成正離子和電子,靶上加有一定的負高壓,從靶極發(fā)出的電子受磁場的作用與工作氣體的電離幾率增大,中國最專業(yè)的展會、會議、活動發(fā)布平臺——808街。在陰極附近形成高密度的等離子體,Ar離子在洛侖茲力的作用下加速飛向靶面,以很高的速度轟擊靶面,使靶上被濺射出來的原子遵循動量轉(zhuǎn)換原理以較高的動能脫離靶面飛向基片淀積成膜。

磁控濺射一般分為二種:支流濺射和射頻濺射,其中支流濺射設(shè)備原理簡單,在濺射金屬時,其速率也快。而射頻濺射的使用范圍更為廣泛,除可濺射導電材料外,也可濺射非導電的材料,同時還司進行反應濺射制備氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。

若射頻的頻率提高后就成為微波等離子體濺射,目前常用的有電子回旋共振(ECR)型微波等離子體濺射。

【應用領(lǐng)域】

1:微電子領(lǐng)域

2:平面顯示器用靶材

3:存儲技術(shù)用靶材

所以靶材其實就是新興的產(chǎn)業(yè),那么參加的展會應該就是什么科學展啊,什么新能源展,什么稀有材料展啊,什么化工展這樣之類的,也可以是什么材料機械展 之類的。

你也可以在不是很確定參加什么會展的時候,就可以再問一下展會的前期工作人員哦。

以上內(nèi)容由808街負責整理并發(fā)布。

問下鍺這種物質(zhì)是什么?

不能完全確認。

鍺曾經(jīng)在人參等高級藥材中發(fā)現(xiàn),而且這些藥材都有極高的保健、藥用價值,因此有的人認為鍺有保健價值。但針對鍺的科學定論還沒有,也就是不可信。

鍺的基本常識介紹鍺是1886年文克勒用光譜分析的方法發(fā)現(xiàn)的,但 是它“失業(yè)”了五十多年。化學家哥德斯密特曾經(jīng)感慨地說過這樣的話:哈特萊煤礦的煤灰里有千分之十六的氧化鍺,這種煤灰1噸就可以生產(chǎn)16公斤的氧化鍺。假如這是金塊的話,那么運送車輛就得嚴密戒備。可是鍺卻是連小偷也不注意的東西。直到1942年,特別是最近以來,人們發(fā)現(xiàn)用鍺可以制造晶體管來代替電子管,用作雷達和電子計算機的主要元件,鍺才變?yōu)橹匾募舛瞬牧稀! ?鍺在地殼中的含量為1.5%,比金、銀、碘等常見的元素多得多。不過,它太分散了,屬于稀散稀有金屬。在大自然中,沒有鍺礦。在煤礦中,大約含有十萬分之一左右的鍺,也就是說,在1n電煤中,大約含l0克的鍺。然而,在煙道灰中卻含有千分之一,甚至百分之一的鍺。含鍺的礦物有硫鍺鐵礦,淺色閃鋅礦等,其中鍺都以雜質(zhì)存在。   鍺是一種淺灰色的金屬。據(jù)x光的研究證明;鍺晶體里的原子排列,與金剛石相同。所以它硬而脆。   鍺用來制造晶體整流器(二極管)、晶體放大器(三極管)、檢波器等,比通常的電子管壽命長、體積小、耐震、耐撞,所以被廣泛地用于電子計算機、雷達設(shè)備、遙控儀器上。   用作半導體材料的鍺,必須非常純,含鍺要在 99.999999%以上(簡稱八個九)。現(xiàn)在,人們用區(qū)域熔煉法,已經(jīng)制出了十一個九以上的純鍺,也就是說,在一千億個原子中,只有一個雜質(zhì)原子。現(xiàn)在,全世界鍺的年產(chǎn)量只有幾十噸。你別以為這個數(shù)字很小,要知道每個半導體器件所需要的鍺,只有極少極少的一點兒,幾十噸的鍺,可以制成幾十億個半導體器件   鍺的電阻在溫度改變的時候,會立即發(fā)生靈敏的變化,所以鍺還被用來制造熱敏電阻,來測定溫度。這種熱敏電阻,甚至可以覺察到1公里以外人體所射出的紅外線。這種熱敏電阻還被廣泛地應用于尋找地下水,尋找千米以外的飛行目標,因為它可以測出萬分之五攝氏度的微小變化。   鍺可以用來制造光電池。光照射到經(jīng)過特殊處理的半導體上,能夠不斷地放出電來。光照越強,發(fā)電能力越大。鍺光電池把光能直接變成電能,既不需要鍺燃料,又不需要成套設(shè)備,為我們從太陽光那里取得無窮無盡的廉價電力開辟了新途徑。醫(yī)學上,由于鍺能刺激紅血球的生成,所以鍺的化合物可用來治療貧血病與嗜眠癥。鍺亦為生命必需微量元素。有機鍺在人體中有很強的脫氫能力,可防止細胞衰老,增強人體免疫力。鍺還具有抗腫瘤、抗炎癥、抗病毒等生理作用。據(jù)日本學者報道,有機鍺是一種廣譜抗癌藥,治療轉(zhuǎn)移性肺癌、肝癌、生殖系統(tǒng)癌和白血病都有效。據(jù)瑞典和美國報道,有機鍺治療惡性淋巴癌、卵巢癌、子宮頸癌、大腸癌、前列腺癌和黑色素癌均有效。因此,有機鍺被譽為“人類健康的保護神”。

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